エックス線管の種類

開放管と密閉管のいいところ取りのエックス線管です。
電子ビームをターゲットに垂直に当て、透過方向にエックス線を発生させます。

　特長
・密閉管と同じで常に高真空状態。安定稼働。
・焦点サイズは、密閉感と開放管の間の2um〜5um。
・開放管と同じで焦点と照射窓の距離が小さい。高倍率撮影が可能。

電子ビームを斜め傾けたターゲットに当て、反射角の方向にエックス線を発生させます。

　特長
・常に高真空状態で安定稼働。
・焦点はマイクロフォーカス。焦点サイズ5um〜10um。
・開放管に比べて低価格。

電子ビームをターゲットに垂直に当て、透過方向にエックス線を発生させます。
微小サイズの対象物を観察する場合に使われます。

　特長
・ユーザーがフィラメント交換・ターゲット交換することでメンテナンスが可能。
・焦点サイズが極小。1um以下。ナノフォーカス製品も存在。
・焦点と照射窓の距離が小さい。高倍率撮影が可能。

電子ビームを斜め傾けたターゲットに当て、反射角の方向にエックス線を発生させます。

　特長
・ユーザーがフィラメント交換・ターゲット交換することでメンテナンスが可能。
・高出力。
・焦点サイズは3um前後。